2024-03-28T18:57:07Zhttps://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace-oai/requestoai:eprints.lib.hokudai.ac.jp:2115/375852019-05-14T08:57:36Zhdl_2115_37394hdl_2115_37319hdl_2115_35409DCプラズマCVD法による3次元基板上へのTiN膜生成 : アルゼンチン共和国へのプラズマプロセシング技術協力Deposition of TiN Film on the Three-Dimensional Substrate Using DC Plasma CVD Method : Technical Cooperation for Plasma Processing of Industrial Materials in the Argentine Republic1000070041960下妻, 光夫Shimozuma, MitsuoLasorsa, CarlosRodrigo, Adolfoopen access492.9北海道大学医療技術短期大学部1995-12jpndepartmental bulletin paperVoRhttp://hdl.handle.net/2115/375850915-2083AN10054499北海道大学医療技術短期大学部紀要8173182https://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/bitstream/2115/37585/1/8_173-182.pdfapplication/pdf509.13 KB1995-12