Type | Author(s) | Title | Other Titles | Citation | Citation(alt) | Issue Date |
article | Shimozuma, M.; Date, H.; Iwasaki, T.; Tagashira, H.; Yoshino, M.; Yoshida, K. | Three-dimensional deposition of TiN film using low frequency (50 Hz) plasma chemical vapor deposition | - | Journal of Vacuum Science & Technology. A, Vacuum, Surfaces, and Films | - | Jul-1997 |
bulletin (article) | 伊達, 広行; 鈴木, 元幸; Ventzek, Peter L. G.; 下妻, 光夫; 酒井, 洋輔; 田頭, 博昭 | レーザーアブレーションプラズマ中の電子の挙動に関する研究 | Electron Dynamics in Laser Ablation Plasmas | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Dec-1995 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; Lasorsa, Carlos; Rodrigo, Adolfo | DCプラズマCVD法による3次元基板上へのTiN膜生成 : アルゼンチン共和国へのプラズマプロセシング技術協力 | Deposition of TiN Film on the Three-Dimensional Substrate Using DC Plasma CVD Method : Technical Cooperation for Plasma Processing of Industrial Materials in the Argentine Republic | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Dec-1995 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 三星, 十久 | 乳幼児や障害児の視機能検査装置開発 | Development of Visual Acuity Measurement System for Infants and Impaired Children | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Dec-1994 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 石川, 基博; 田頭, 博昭 | 50HzプラズマCVD法による高分子材料上へのシリコン酸化膜生成 | Deposition of Silicon Oxide Film on Polymer Substrade Using 50Hz Plasma CVD Method | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Dec-1992 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 田頭, 博昭 | N2OのArプラズマによる解離 | Dissociation of N2O by Ar plasma | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Dec-1991 |
article | Shimozuma, Mitsuo; Tochitani, Gen; Tagashira, Hiroaki | Optical emission diagnostics of H2+CH4 50-Hz–13.56-MHz plasmas for chemical vapor deposition | - | Journal of Applied Physics | - | 15-Jul-1991 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 田頭, 博昭 | H2+CH4 混合ガスプラズマ発光の位置・時間分解 | Diagnotics of Plasma in H2+CH4 Mixture by Space and Time Resolved Optical Emission Spectroscopy | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Oct-1990 |
bulletin (article) | 花田, 博之; 加藤, 浩; 関之山, 勝博; 下妻, 光夫; 山口, 成厚 | X線フィルム濃度分布の低濃度領域における統計的モデル | Statistical Model of X-ray Film Density Distribution after Irradiation of Weak X-rays | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Oct-1990 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 田頭, 博昭 | 水素プラズマの電子温度周波数特性 | Frequency Characteristic of Electron Temperature in Hydrogen Plasma | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Nov-1989 |
article | Shimozuma, M.; Tochitani, G.; Ohno, H.; Tagashira, H.; Nakahara, J. | Hydrogenated amorphous carbon films deposited by low-frequency plasma chemical vapor deposition at room temperature | - | Journal of Applied Physics | - | 1-Jul-1989 |
bulletin (article) | 関之山, 勝博; 下妻, 光夫; 山口, 成厚; 酒井, 洋輔 | ガス入り計数管のガス材料改善 (1) : 放電基礎パラメータの測定 | Improvement of Counter Gas (1) : Measurement of Basic Discharage Parameters | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Oct-1988 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 田頭, 博昭 | 室温・低周波 (50Hz) プラズマCVD法によるアモルファスカーボン膜の作成と評価 | Characteristics of Amorphous Carbon Thin Film by Room Temperature Low Frequancy (50Hz) Plasma CVD | 北海道大学医療技術短期大学部紀要 | - | Oct-1988 |
bulletin (article) | 横山, 勇治; 大野, 英男; 長谷川, 英機; 下妻, 光夫 | 「非晶質シリコン薄膜トランジスタのドレイン電流ドリフト特性とその機構」 | Characterization and Mechanism of Drain Current Drift in Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film Transistor | 北海道大學工學部研究報告 | Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University | 30-May-1988 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 長谷川, 英機; 田頭, 博昭 | アルゴン-シランと窒素-シラン混合ガスのグロー放電発光スペクトル | Emission Spectrum of the Glow Discharge in Argon-Silane and Nitrogen-Silane Mixtures | 北海道大學工學部研究報告 | Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University | 31-Oct-1983 |
bulletin (article) | 下妻, 光夫; 田頭, 博昭; 長谷川, 英機 | N2とCH4の混合ガス中における電離電流の増倍と電離係数 | Ionization Current Growth and the Ionization Coefficients in N2 and CH4 Mixtures | 北海道大學工學部研究報告 | Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University | 30-May-1981 |
bulletin (article) | 平山, 均; 下妻, 光夫; 小林, 倫; 田頭, 博昭 | 低気圧ガス中の電離電流におよぼす磁界の影響 : CH4ガスへの適用 | Influence of Magnetic Field on the Ionization Current at Low Pressures : Applcation to CH4 Gas | 北海道大學工學部研究報告 | Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University | 30-Nov-1979 |