北海道大学医療技術短期大学部紀要;第5号

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50HzプラズマCVD法による高分子材料上へのシリコン酸化膜生成

下妻, 光夫;石川, 基博;田頭, 博昭

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/37544

Abstract


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