北海道大学医療技術短期大学部紀要;第8号

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DCプラズマCVD法による3次元基板上へのTiN膜生成 : アルゼンチン共和国へのプラズマプロセシング技術協力

下妻, 光夫;Lasorsa, Carlos;Rodrigo, Adolfo

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/37585

Abstract


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