北海道大学医療技術短期大学部紀要;第8号
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第8号
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DCプラズマCVD法による3次元基板上へのTiN膜生成 : アルゼンチン共和国へのプラズマプロセシング技術協力
下妻, 光夫;Lasorsa, Carlos;Rodrigo, Adolfo
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http://hdl.handle.net/2115/37585
Abstract
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