北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.128

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フレオンガスによる炭素鋼の反応性スパッタ・エッチングの研究 : 酸素ガス混合の効果について

勇田, 敏夫;小山内, 潤;佐藤, 敏一;高橋, 達男

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/41959

Abstract


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