北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.133
HUSCAP
HOME
>
No.133
FONT SIZE:
反応性スパッタ・エッチングの研究 : 各種ガスの鋼加工特性について
勇田, 敏夫;小山内, 潤;佐藤, 敏一;高橋, 達男
Permalink :
http://hdl.handle.net/2115/42017
Abstract
FULL TEXT:
PDF