北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.133

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反応性スパッタ・エッチングの研究 : 各種ガスの鋼加工特性について

勇田, 敏夫;小山内, 潤;佐藤, 敏一;高橋, 達男

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/42017

Abstract


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