北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.162

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多結晶Si/単結晶Si界面における自然酸化膜の球状化現象

大貫, 惣明;木村, 道哉;高橋, 平七郎;木村, 幸治;熊丸, 邦明

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/42325

Abstract


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