北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.162
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No.162
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多結晶Si/単結晶Si界面における自然酸化膜の球状化現象
大貫, 惣明;木村, 道哉;高橋, 平七郎;木村, 幸治;熊丸, 邦明
Permalink :
http://hdl.handle.net/2115/42325
Abstract
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