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      1340-2455
      Publisher:
      電子科学研究所

STMによるSi表面へのAlCl3吸着過程の観察と反応表面での原子・分子操作

植杉, 克弘; 滝口, 隆晴; 吉村, 雅満 他

電子科学研究, 1995, 2, 74-78

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/24313

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