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APL82-4	pdf	268 KB	1,943

論文情報

ファイル出力 EndNote Basic出力 Mendeley出力

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/28033
タイトル	Local probing of thermal properties at submicron depths with megahertz photothermal vibrations
著者	Tomoda, M. ; Shiraishi, N. ; Kolosov, O. V. ; Wright, O. B.
e-Rad_Researcher 30344485 著者名 Tomoda, M.
著者名 Shiraishi, N.
著者名 Kolosov, O. V.
著者名 Wright, O. B.
言語	英語
発行日	2003-01-27
出版者	American Institute of Physics
収録物名	Applied Physics Letters
巻(号)	82(4)
ページ	622-624
抄録	We demonstrate the imaging of buried features in a microstructure -- a tiny hole in an aluminum thin film covered by a chromium layer -- with nanometer lateral resolution using a transient temperature distribution restricted to within ~0.5 µm of the sample surface. This is achieved by mapping photothermally induced megahertz surface vibrations in an atomic force microscope. Local thermal probing with megahertz-frequency thermal waves is thus shown to be a viable method for imaging subsurface thermal features at submicron depths.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Version of Record
権利情報	Copyright © 2003 American Institute of Physics.
PISSN	0003-6951
EISSN	0003-6951
関連情報	URI http://apl.aip.org/apl/
関連情報 (isIdenticalTo)	出版社版DOI https://doi.org/10.1063/1.1539906

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