In-bulk and surface structuring of sapphire by femtosecond pulses

Juodkazis, Saulius; Nishimura, Koichi; Misawa, Hiroaki

Applied Surface Science, 2007, 253(15), 6539-6544

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/28046

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
ASS253-15	pdf	2.07 MB	1,652

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/28046
タイトル	In-bulk and surface structuring of sapphire by femtosecond pulses
著者	Juodkazis, Saulius ; Nishimura, Koichi ; Misawa, Hiroaki
著者名 Juodkazis, Saulius
著者名 Nishimura, Koichi
e-Rad_Researcher 30253230 著者名 Misawa, Hiroaki
言語	英語
キーワード	Dielectric breakdown
	Femtosecond laser micofabrication
	Micro-explosion
	Sapphire
発行日	2007-05-30
出版者	Elsevier
収録物名	Applied Surface Science
巻(号)	253(15)
ページ	6539-6544
抄録	The actual space–time dependent intensity distribution of a tightly focused (numerical aperture NA = 1.35) Gaussian femtosecond pulse is modeled inside dielectric material. Such focusing is typically used for recording with sub-wavelength resolution inside dielectrics. The multi-pulse structuring inside the bulk and on the surface of sapphire are demonstrated. Formation of nano-cracks and nano-crystals is revealed inside the crystalline sapphire. Ripple formation on the surface is discussed in terms of the efficacy map calculated by theory given in ref. [J.E. Sipe, J.F. Young, J.S. Preston, H.M. van Driel, Laser-induced periodic surface structure. I. Theory, Phys. Rev. B 27 (2) (1983) 1141–1154.].
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Accepted Manuscript
PISSN	0169-4332
関連情報	URI http://www.sciencedirect.com/science/journal/01694332
関連情報 (isVersionOf)	出版社版DOI https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2007.01.097