エリプソ・インタフェロメトリにおける多重反射と回折の影響

三島, 瑛人; 佐藤, 邦宏; 伊藤, 泰宏他

北海道大學工學部研究報告, 1983, 112, 57-67

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/41768

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112_57-68	pdf	622 KB	1,584

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/41768
タイトル	エリプソ・インタフェロメトリにおける多重反射と回折の影響
タイトル	Effects of Multiple Reflection and Diffraction on Lateral Resolution of Ellipso-Interferometry
著者	三島, 瑛人 ; 佐藤, 邦宏 ; 伊藤, 泰宏 ; 桜庭, 一郎
著者名三島, 瑛人 Mishima, Teruhito
著者名佐藤, 邦宏 Satoh, Kunihiro
著者名伊藤, 泰宏 Itoh, Yasuhiro
著者名桜庭, 一郎 Sakuraba, Ichiro
言語	日本語
発行日	1983-01-31
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	112
ページ	57-67
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223