VLS法ならびにその変形法によるシリコン結晶の成長

新谷, 光二; 山本, 克郎; 長崎, 隆吉

北海道大學工學部研究報告, 1986, 132, 161-171

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/41996

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アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/41996
タイトル	VLS法ならびにその変形法によるシリコン結晶の成長
タイトル	Growth of Silicon Crystals by VLS-Method and its Modification
著者	新谷, 光二 ; 山本, 克郎 ; 長崎, 隆吉
著者名新谷, 光二 Atarashiya, Koji
著者名山本, 克郎 Yamamoto, Katsuro
著者名長崎, 隆吉 Nagasaki, Ryukichi
言語	日本語
発行日	1986-07-31
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	132
ページ	161-171
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223