反応性スパッタ・エッチングの研究 : 各種ガスの鋼加工特性について

勇田, 敏夫; 小山内, 潤; 佐藤, 敏一他

北海道大學工學部研究報告, 1986, 133, 39-46

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42017

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133_39-46	pdf	416 KB	3,004

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/42017
タイトル	反応性スパッタ・エッチングの研究 : 各種ガスの鋼加工特性について
タイトル	A Study of Reactive Sputter Etching : On the Etching Characteristics of Carbon Steel by using various gases
著者	勇田, 敏夫 ; 小山内, 潤 ; 佐藤, 敏一 ; 高橋, 達男
著者名勇田, 敏夫 Yuhta, Toshio
著者名小山内, 潤 Osanai, Jun
著者名佐藤, 敏一 Satoh, Toshikazu
著者名高橋, 達男 Takahashi, Tatsuo
言語	日本語
発行日	1986-10-31
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	133
ページ	39-46
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223