多結晶Si/単結晶Si界面における自然酸化膜の球状化現象

大貫, 惣明; 木村, 道哉; 高橋, 平七郎他

北海道大學工學部研究報告, 1993, 162, 127-135

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42325

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162_127-136	pdf	1.33 MB	5,348

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/42325
タイトル	多結晶Si/単結晶Si界面における自然酸化膜の球状化現象
タイトル	Balling-up Phenomena of Native Oxiside Film on Poly-Si/Single-crystal-Si Interface
著者	大貫, 惣明 ; 木村, 道哉 ; 高橋, 平七郎 ; 木村, 幸治 ; 熊丸, 邦明
著者名大貫, 惣明 Ohnuki, Somei
著者名木村, 道哉 Kimura, Michiya
著者名高橋, 平七郎 Takahashi, Heishichiro
著者名木村, 幸治 Kimura, Koji
著者名熊丸, 邦明 Kumamaru, Kuniaki
言語	日本語
発行日	1993-01-29
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	162
ページ	127-135
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223