半絶縁性基板の表面電気伝導および表面不活性化

佐々木, 恵二; 赤沢, 正道; 塩原, 俊助他

北海道大學工學部研究報告, 1994, 170, 35-43

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42433

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170_35-44	pdf	602 KB	4,896

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/42433
タイトル	半絶縁性基板の表面電気伝導および表面不活性化
タイトル	Electrical Conduction Near Surface of Semi-Insulating Substrate and Its Surface Passivation
著者	佐々木, 恵二 ; 赤沢, 正道 ; 塩原, 俊助 ; 長谷川, 英機
著者名佐々木, 恵二 Sasaki, Keiji
著者名赤沢, 正道 Akazawa, Masamichi
著者名塩原, 俊助 Shiobara, Syunsuke
著者名長谷川, 英機 Hasegawa, Hideki
言語	日本語
発行日	1994-07-29
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	170
ページ	35-43
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223