集束イオンビームの探針加工への応用

佐々木, 泰; 末岡, 和久; 岩田, 達夫他

北海道大學工學部研究報告, 1995, 174, 41-47

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42448

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174_41-48	pdf	1.11 MB	2,565

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/42448
タイトル	集束イオンビームの探針加工への応用
タイトル	Study of Focused Ion Beams for Probe Tip Milling
著者	佐々木, 泰 ; 末岡, 和久 ; 岩田, 達夫 ; 宮尾, 正大 ; 安達, 洋 ; 早川, 和延 ; 武笠, 幸一
著者名佐々木, 泰 Sasaki, Yasushi
著者名末岡, 和久 Sueoka, Kazuhisa
著者名岩田, 達夫 Iwata, Tatsuo
著者名宮尾, 正大 Miyao, Masahiro
著者名安達, 洋 Adachi, Hiroshi
著者名早川, 和延 Hayakawa, Kazunobu
著者名武笠, 幸一 Mukasa, Koichi
言語	日本語
発行日	1995-07-28
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	174
ページ	41-47
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223