ダイバータ配位とリミター配位におけるヘリウム選択排気金属の排気効率の比較
柳原, 英人; 久保, 和也; 中村, 知博 他
北海道大學工學部研究報告, 1995, 175, 59-65
Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42463
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175_59-66
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