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論文情報

ファイル出力 EndNote Basic出力 Mendeley出力

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/73882
タイトル	A thermocouple-based remote temperature controller of an electrically-floated sample for plasma CVD of nanocarbons with bias voltage
著者	Shimada, Toshihiro ; Miura, Takuya ; Xie, Wei ; Yanase, Takashi ; Nagahama, Taro
e-Rad_Researcher 10262148 著者名 Shimada, Toshihiro
著者名 Miura, Takuya
著者名 Xie, Wei
著者名 Yanase, Takashi
著者名 Nagahama, Taro
言語	英語
キーワード	Temperature measurement
	Plasma CVD
	Carbon nanomaterial
	Emissivity
	Pyrometer
	Thermocouple
発行日	2017-05
出版者	Elsevier
収録物名	Measurement
巻(号)	102
ページ	244-248
抄録	We report an accurate and easy-to operate instrument for the temperature control of an electrically floated sample using a thermocouple in direct contact with it. The signal was transmitted via 2.45 GHz WiFi. We measured and analyzed the discrepancy between the thermocouple and a radiation thermometer for the plasma CVD of carbon nanomaterials under sample bias. A successful protection method from abnormal discharge in the plasma is also provided. (C) 2017 Elsevier Ltd. All rights reserved.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Accepted Manuscript
権利情報	Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International
権利情報	© 2017. This manuscript version is made available under the CC-BY-NC-ND 4.0 license http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
PISSN	0263-2241
関連情報 (isVersionOf)	出版社版DOI https://doi.org/10.1016/j.measurement.2017.02.012

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