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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
JCS114.125-127	pdf	285 KB	377

論文情報

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アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/73946
タイトル	Micropatterning of Inorganic-Organic Hybrid Thick Films from Vinyltriethoxysilane
	ビニルトリエトキシシランから作製した無機-有機ハイブリッド厚膜の微細パターニング
著者	TADANAGA, Kiyoharu ; SUEKI, Toshitsugu ; MATSUDA, Atsunori ; MINAMI, Tsutomu ; TATSUMISAGO, Masahiro
e-Rad_Researcher 90244657 著者名 TADANAGA, Kiyoharu 忠永, 清治
著者名 SUEKI, Toshitsugu 末木, 俊次
著者名 MATSUDA, Atsunori 松田, 厚範
著者名 MINAMI, Tsutomu 南, 努
著者名 TATSUMISAGO, Masahiro 辰巳砂, 昌弘
言語	英語
キーワード	Inorganic-organic hybrids
	Mciropatterning
	UV irradiation
	Vinyltriethoxysilane
発行日	2006-01
出版者	Ceramic Society of Japan
	日本セラミックス協会
収録物名	Journal of the Ceramic Society of Japan
	日本セラミックス協会学術論文誌
巻(号)	114(1325)
ページ	125-127
抄録	Inorganic-organic hybrid films with a maximum thickness of about 40 μm were prepared from vinyltriethoxysilane (VTES) through a sol-gel process. UV light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask on the hybrid films from VTES. IR and 29Si NMR spectra of the coating films showed that C=C bonds in VTES were polymerized by UV irradiation. Micropatterns with a maximum height of about 40 μm were formed by the etching of unirradiated area of the films.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Version of Record
権利情報	Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International
PISSN	0914-5400
EISSN	1348-6535
NCID	AN10040326
関連情報 (isIdenticalTo)	出版社版DOI https://doi.org/10.2109/jcersj.114.125

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