二次イオン質量分析法(SIMS)によるチタン中微量酸素の局所定量分析

竹下, 博之; 冨井, 洋一; 鈴木, 亮輔; 小野, 勝敏

二次イオン質量分析法(SIMS)によるチタン中微量酸素の局所定量分析

竹下, 博之; 冨井, 洋一; 鈴木, 亮輔他

日本金属学会誌, 1995, 59(9), 973-977

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/74870

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J. Jpn. Inst. Met. 59(9) 973	pdf	453 KB	386

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URI	https://hdl.handle.net/2115/74870
タイトル	二次イオン質量分析法(SIMS)によるチタン中微量酸素の局所定量分析
タイトル	Local Quantitative SIMS Analysis of Small Amount of Oxygen in Titanium
著者	竹下, 博之 ; 冨井, 洋一 ; 鈴木, 亮輔 ; 小野, 勝敏
著者名竹下, 博之 Takeshita, Hiroyuki T.
著者名冨井, 洋一 Tomii, Yoichi
著者名鈴木, 亮輔 Suzuki, Ryosuke O.
著者名小野, 勝敏 Ono, Katsutoshi
言語	日本語
キーワード	secondary ion mass spectrometry
	oxygen analysis
	titanium
	energy profile
	cluster ion
	quantitative analysis
	precision
発行日	1995-09-01
出版者	日本金属学会
出版者	Iron and Steel Institute of Japan
収録物名	日本金属学会誌
収録物名	Journal of the Japan Institute of Metals
巻(号)	59(9)
ページ	973-977
抄録	Local quantitaive analysis of small amounts of oxygen in titanium was studied using the secondary ion mass spectrometry (SIMS). Cs+ ion was used for the primary ion beam, and 16O−, 64TiO− and 96Ti2− for the secondary ones. The intensity profiles of the secondary ions against energy at sputtering (energy profile) showed a good similarity between the cluster ions, i.e., TiO− and Ti2−. The precision of oxygen analysis was improved due to the similar energy profiles of the two analytical ions. Using the high energy resolution of mass spectrometer and the stable extraction voltage of secondary ions, the effect by mismatching in the energy profiles was reduced. The relative standard deviation of the ion intensity ratio I[64TiO−]⁄I[96TiO2−] was suppressed less than 10% over the oxygen concentration of 23 to 1540 mass ppm.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0021-4876
EISSN	1880-6880
NCID	AN00062446
関連情報 (isIdenticalTo)	出版社版DOI https://doi.org/10.2320/jinstmet1952.59.9_973