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materia 3	pdf	2.05 MB	568

論文情報

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アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/74873
タイトル	SIMSによる金属中の軽元素分析
	SIMS Analysis of Light Elements in the Metals
著者	竹下, 博之 ; 鈴木, 亮輔 ; 小野, 勝敏
著者名 竹下, 博之 Takeshita, Hiroyuki T.
e-Rad_Researcher 80179275 著者名 鈴木, 亮輔 Suzuki, Ryosuke O.
著者名 小野, 勝敏 Ono, Katsutoshi
言語	日本語
キーワード	secondary ion mass spectrometry
	quantitative analysis
	detection limit
	trace element
	titanium
	copper
	oxygen
	sulfur
	mass spectrum
発行日	1994-04-20
出版者	日本金属学会
収録物名	まてりあ
	Materia Japan
巻(号)	33(4)
ページ	356-361
抄録	SIMSは3.2ｘ10-15J（約20keV）までのエネルギーを持ったイオン（一次イオン）を固体表面に照射し、スパッタリングによって固体表面から放出されるイオン（二次イオン）を質量分析計で検出する。その機能は、電子ビームを照射して試料からのX線を検出するX線マイクロアナライザーと似ている。しかし、SIMSは、電子ビームのかわりにイオンビームを、X線検出器のかわりに質量分析計を用いているため、以下のような特徴がある。 (1) 水素からウランまでの全元素を分析できる。特に、SIMSは水素分析が可能な唯一の局所分析技法である。　(2) 局所分析技法としては最も高感度であり、装置の検出感度かるするとほとんどすべての元素をppm～ppbのオーダーまで分析できる。　(3) 表面の元素分析が可能であるばかりでなく、スパッタリングを利用して表面からの深さ方向の分析ができる。さらに、両者を組合せて3次元的な元素分布を調べることが可能である。　(4) 同位体の濃度分析や分布の測定が可能である。　上述の特徴により、SIMSは他の分析技法では検出困難な各種材料中の微量不純物の局所分析あるいは特定元素の深さ方向の濃度分布の測定に応用されている。本稿では、SIMSによる金属中の微量不純物分析の現状と分析限界について述べる。
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	1340-2625
EISSN	1884-5843
NCID	AN10433227
関連情報 (isIdenticalTo)	出版社版DOI https://doi.org/10.2320/materia.33.356

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