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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
Y.Suda_Thin_Solid_Films2000_	pdf	397 KB	1,722

論文情報

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アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/8946
タイトル	Deposition of fine carbon particles using pulsed ArF laser ablation assisted by inductively coupled plasma
著者	Suda, Yoshiyuki ; Nishimura, T. ; Ono, T. ; Akazawa, M. ; Sakai, Y. ; Homma, N.
e-Rad_Researcher 70301942 著者名 Suda, Yoshiyuki 須田, 善行
著者名 Nishimura, T.
著者名 Ono, T.
e-Rad_Researcher 30212400 著者名 Akazawa, M.
著者名 Sakai, Y.
著者名 Homma, N.
言語	日本語
キーワード	Laser ablation
	Inductively coupled plasma (ICP)
	Particle growth
	Ambient gas
	Diamond like carbon (DLC)
発行日	2000-10-17
出版者	Elsevier
収録物名	Thin Solid Films
巻(号)	374(2)
ページ	287-290
抄録	Carbon thin films containing many fine carbon particles were deposited by a pulsed ArF laser ablation technique assisted by inductively coupled plasma (ICP). The sizes of the particles were found to be - 100 nm. The particles seemed to be coagulated from several finer particles of size - 10 nm. When ICP was applied to a plume, the shape of the coagulated particles became spherical. The deposited surface was assumed to be diamond-like carbon based on the binding energy of carbon (1s) in the particle obtained by XPS spectra.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Accepted Manuscript
PISSN	0040-6090
関連情報	URI http://www.sciencedirect.com/science/journal/00406090
関連情報 (isVersionOf)	出版社版DOI https://doi.org/10.1016/S0040-6090(00)01167-6

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