フレオンガスによる炭素鋼の反応性スパッタ・エッチングの研究 : 酸素ガス混合の効果について
勇田, 敏夫; 小山内, 潤; 佐藤, 敏一 他
北海道大學工學部研究報告, 1985, 128, 51-55
Permalink : https://hdl.handle.net/2115/41959
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