四重極質量分析計を用いたプロセスガス分析法の開発

石井, 邦宜; 秋山, 友宏; 柏谷, 悦章他

北海道大學工學部研究報告, 1986, 132, 21-30

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42004

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アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/42004
タイトル	四重極質量分析計を用いたプロセスガス分析法の開発
タイトル	Development of Process Gas Analysis by using Quadrupole Mass Spectrometer
著者	石井, 邦宜 ; 秋山, 友宏 ; 柏谷, 悦章 ; 近藤, 真一
著者名石井, 邦宜 Ishii, Kuniyoshi
著者名秋山, 友宏 Akiyama, Tomohiro
著者名柏谷, 悦章 Kashiwaya, Yoshiaki
著者名近藤, 真一 Kondo, Shin-ichi
言語	日本語
発行日	1986-07-31
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	132
ページ	21-30
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223