フォトルミネセンス法によるシリコン表面の表面再結合速度の評価

西本, 陽一郎; 斉藤, 俊也; 長谷川, 英機

北海道大學工學部研究報告, 1993, 164, 31-40

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URI	https://hdl.handle.net/2115/42365
タイトル	フォトルミネセンス法によるシリコン表面の表面再結合速度の評価
タイトル	Measurement of Surface Recombination Velocity of Si Surface by Photoluminescence Method
著者	西本, 陽一郎 ; 斉藤, 俊也 ; 長谷川, 英機
著者名西本, 陽一郎 Nishimoto, Yoichiro
著者名斉藤, 俊也 Saitoh, Toshiya
著者名長谷川, 英機 Hasegawa, Hideki
言語	日本語
発行日	1993-05-28
出版者	北海道大学
出版者	Hokkaido University
収録物名	北海道大學工學部研究報告
収録物名	Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻(号)	164
ページ	31-40
資源タイプ	紀要論文
出版タイプ	Version of Record
PISSN	0385-602X
NCID	AN00230223