ダイバータ配位とリミター配位におけるヘリウム選択排気金属の排気効率の比較

柳原, 英人; 久保, 和也; 中村, 知博 他

北海道大學工學部研究報告, 1995, 175, 59-65

Permalink : https://hdl.handle.net/2115/42463

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