閲覧可能ファイル 

ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
AIPA1-3_032102	pdf	496 KB	1,769

論文情報

ファイル出力 EndNote Basic出力 Mendeley出力

アクセス権	open access
URI	https://hdl.handle.net/2115/49857
タイトル	Development of microfabricated TiO2 channel waveguides
著者	Furuhashi, Masayuki ; Fujiwara, Masazumi ; Ohshiro, Takahito ; Tsutsui, Makusu ; Matsubara, Kazuki ; Taniguchi, Masateru ; Takeuchi, Shigeki ; Kawai, Tomoji
著者名 Furuhashi, Masayuki
e-Rad_Researcher 30540190 著者名 Fujiwara, Masazumi
著者名 Ohshiro, Takahito
著者名 Tsutsui, Makusu
著者名 Matsubara, Kazuki
著者名 Taniguchi, Masateru
e-Rad_Researcher 80321959 著者名 Takeuchi, Shigeki
著者名 Kawai, Tomoji
言語	英語
キーワード	integrated optics
	microfabrication
	micro-optomechanical devices
	optical fabrication
	optical losses
	optical waveguides
	refractive index
	titanium compounds
	transparency
発行日	2011-09
出版者	American Institute of Physics
収録物名	AIP Advances
巻(号)	1(3)
ページ	032102
抄録	An optical channel waveguide is a key solution to overcome signal propagation delay. For the benefits of miniaturization, development of microfabrication process for waveguides is demanded. TiO2 is one of the suitable candidates for the microfabricated waveguide because of the high refractive index and the transparency. In the present study, conventional microfabrication processes manufactured TiO2 channel waveguides with 1-20 μm width on oxidized Si substrates and the propagation loss was measured. The prepared channels successfully guided light of 632.8 nm along linear and Y-branched patterns. The propagation loss for the linear waveguide was 9.7 dB/cm.
資源タイプ	学術雑誌論文
出版タイプ	Version of Record
権利情報	Creative Commons Attribution 3.0 Unported
PISSN	2158-3226
関連情報 (isIdenticalTo)	出版社版DOI https://doi.org/10.1063/1.3615716

ホームへ戻る