北海道大学工学部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University;No.178

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プラズマプロセスによるSiの表面窒化

原田, 誠;広畑, 優子;藤田, 一郎;日野, 友明;山科, 俊郎

Permalink : http://hdl.handle.net/2115/42477

Abstract


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