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No.128 >

フレオンガスによる炭素鋼の反応性スパッタ・エッチングの研究 : 酸素ガス混合の効果について

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タイトル: フレオンガスによる炭素鋼の反応性スパッタ・エッチングの研究 : 酸素ガス混合の効果について
その他のタイトル: A Study of Reactive Sputter Etching for Carbon Steel by Freon Gas : On the Effect of Oxygen Gas Mixture
著者: 勇田, 敏夫 著作を一覧する
小山内, 潤 著作を一覧する
佐藤, 敏一 著作を一覧する
高橋, 達男 著作を一覧する
発行日: 1985年10月31日
出版者: 北海道大学 = Hokkaido University
誌名: 北海道大學工學部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻: 128
開始ページ: 51
終了ページ: 55
資料タイプ: bulletin (article)
URI: http://hdl.handle.net/2115/41959
出現コレクション:No.128

 

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