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No.132 >

VLS法ならびにその変形法によるシリコン結晶の成長

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タイトル: VLS法ならびにその変形法によるシリコン結晶の成長
その他のタイトル: Growth of Silicon Crystals by VLS-Method and its Modification
著者: 新谷, 光二 著作を一覧する
山本, 克郎 著作を一覧する
長崎, 隆吉 著作を一覧する
発行日: 1986年 7月31日
出版者: 北海道大学 = Hokkaido University
誌名: 北海道大學工學部研究報告 = Bulletin of the Faculty of Engineering, Hokkaido University
巻: 132
開始ページ: 161
終了ページ: 171
資料タイプ: bulletin (article)
URI: http://hdl.handle.net/2115/41996
出現コレクション:No.132

 

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