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Local probing of thermal properties at submicron depths with megahertz photothermal vibrations

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タイトル: Local probing of thermal properties at submicron depths with megahertz photothermal vibrations
著者: Tomoda, M. 著作を一覧する
Shiraishi, N. 著作を一覧する
Kolosov, O. V. 著作を一覧する
Wright, O. B. 著作を一覧する
発行日: 2003年 1月27日
出版者: American Institute of Physics
誌名: Applied Physics Letters
巻: 82
号: 4
開始ページ: 622
終了ページ: 624
出版社 DOI: 10.1063/1.1539906
抄録: We demonstrate the imaging of buried features in a microstructure -- a tiny hole in an aluminum thin film covered by a chromium layer -- with nanometer lateral resolution using a transient temperature distribution restricted to within ~0.5 µm of the sample surface. This is achieved by mapping photothermally induced megahertz surface vibrations in an atomic force microscope. Local thermal probing with megahertz-frequency thermal waves is thus shown to be a viable method for imaging subsurface thermal features at submicron depths.
Rights: Copyright © 2003 American Institute of Physics.
Relation (URI): http://apl.aip.org/apl/
資料タイプ: article
URI: http://hdl.handle.net/2115/28033
出現コレクション:雑誌発表論文等 (Peer-reviewed Journal Articles, etc)

提供者: 友田 基信

 

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