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電子線が拓く新しい3次元イメージング

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J. Crys. Soc. Jpn 56 s12.pdf241.45 kBPDFView/Open
Please use this identifier to cite or link to this item:http://hdl.handle.net/2115/75426

Title: 電子線が拓く新しい3次元イメージング
Authors: 波多, 聰 Browse this author
山﨑, 重人 Browse this author
光原, 昌寿 Browse this author
池田, 賢一 Browse this author →KAKEN DB
中島, 英治 Browse this author
Keywords: 電子線トモグラフィー
スライスアンドビュー
Issue Date: 1-Nov-2014
Publisher: 日本結晶学会
Journal Title: 日本結晶学会誌
Volume: 56
Issue: Supplement
Start Page: s12
End Page: s12
Publisher DOI: 10.5940/jcrsj.56.s12
Abstract: 電子線を用いた主な3次元イメージング法には、電子線トモグラフィー(electron tomography)とスライスアンドビュー(slice-and-view)が挙げられる。前者は、透過電子顕微鏡(TEM)または走査透過電子顕微鏡(STEM)により試料の連続傾斜投影画像を撮影し、X線トモグラフィーと同様のアルゴリズムで3次元画像を構築する方法である。後者は、走査電子顕微鏡(SEM)と集束イオンビーム(FIB)の複合機により試料をnmオーダーの厚みでスライスしながら断面像を撮影し、スライス厚みを考慮しつつ断面像を重ねて3次元画像を構築する方法である。本講演では、結晶性試料を対象とした3次元イメージングのトピックを紹介し、その現状と今後について述べる。
Description: 平成26年度日本結晶学会年会及び総会. 平成26年11月1日(土)-3日(月・祝). 東京大学農学部, 東京都.
Conference Name: 日本結晶学会年会及び総会
Conference Place: 東京
Type: proceedings
URI: http://hdl.handle.net/2115/75426
Appears in Collections:工学院・工学研究院 (Graduate School of Engineering / Faculty of Engineering) > 雑誌発表論文等 (Peer-reviewed Journal Articles, etc)

Submitter: 池田 賢一

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